為了提高薄膜的品質，鍍膜制造商一般會采用離子源進行輔助鍍膜, 如下圖

隨著對鍍膜品質要求的不斷提升, 使用霍爾離子源輔助鍍膜已經無法滿足高端鍍膜應用市場, 國內某知名 LED 制造商經過我司推薦采用射頻離子源 RFICP 325 安裝在 DBR 生產設備 1650 mm 蒸鍍機中. 成功實現高端光學鏡頭鍍膜并通過脫膜測試!

上海伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 325客戶案例: 國內某知名 LED 制造商
1. 離子源應用: LED-DBR 鍍膜生產.
2. 系統功能: 1650 mm 尺寸電子*****蒸鍍鍍膜機.
3. 離子源: 采用美國 KRI 射頻離子源 RFICP 325. 離子源 RFICP 325 提供的離子束 (不論是離子能量還是離子密度) 均是目前業界較高等級, 離子源 RFICP 325 特殊的柵極設計 E22 Grided 可以涵蓋 1650 mm 尺寸的蒸鍍機中大范圍的載具 substrate holder, 無論是生產良率或是均勻性都可達到最高生產效能.
4. 離子源功能: 通過射頻離子源 RFICP 325 實現離子輔助鍍膜 IBAD 及預清潔 Pre-clean 功能后, 所生產出的 LED-DBR 無論是亮度測試, 脫膜測試, 頂針測試, 光學特性等等… 都優于目前一般業界蒸鍍機所搭配的離子源.

上海伯東射頻離子源安裝案例: KRI RFICP 325 射頻離子源安裝于 1650 mm 尺寸電子*****蒸鍍鍍膜機.



KRI 射頻離子源測試案例: LED-DBR 脫膜測試.
1. 在高倍顯微鏡下檢視脫膜測試


2. 測試結果

--------- 使用其他品牌離子源---     --------------------- 使用美國考夫曼 KRI RFICP 325 離子源 ----------------------

從上圖可以清楚看出, 使用其他品牌離子源, 樣品存在崩邊的問題; 使用上海伯東美國考夫曼離子源, 樣品無崩邊

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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