INFICON英福康CDG045D電容膜片式真空計 3CC1-C51-2300

INFICON SKY CDG045D 真空計是用于高精度總壓強(qiáng)測量和控制的選擇.為實(shí)現(xiàn)訊號穩(wěn)定性和再現(xiàn)性, CDG045D 真空計是在 45°C 下溫度控制的. 可供應(yīng)的真空計包括全量程范圍從 50 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號和現(xiàn)場總線接口和提供線性 0 至 10 V, 與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號. INFICON 電容真空計采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)勢是更好的訊號穩(wěn)定性, 快速地從大氣壓恢復(fù), 短的預(yù)熱時間和超長的使用壽命. INFICON CDG 是高質(zhì)量, 高效益的壓強(qiáng)傳感器用于高要求的真空應(yīng)用.

優(yōu)勢：

擁有成本低, 預(yù)熱快 50%, 能效高, 低功耗

易集成,規(guī)格齊全的 全量程, 法蘭和接口, 標(biāo)準(zhǔn)型號有兩個設(shè)點(diǎn)

簡易的一鍵按鈕或運(yùn)距訊號調(diào)零指令,零點(diǎn)偏移可調(diào)整

診斷口用于快速服務(wù)和維護(hù)

兩年保用期,帶有先進(jìn)的加熱概念和真空計保護(hù)的長使用壽命

由于訊號穩(wěn)定性和再現(xiàn)性, 即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用中也無長期再校準(zhǔn)的需要

兼容性和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS

應(yīng)用：

刻蝕, CVD, PVD 和其它半導(dǎo)體過程

化學(xué)和腐蝕性的真空過程

一般薄膜和真空過程

參考傳感器用于按國際標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測測試儀器

訂貨號

INFICON  CDG045D 100 Torr: 16-KF    3CC1-C51-2300