說到真空泵在進行拆卸時候的步驟要求，來講，也就是要注意去切斷電源，只會再拔下電源插頭。之后就此泵若是在系統上面，這時候也就是要注意從設備上取下來；真空泵拆卸的時候，也應該要注意擰放油螺栓放油，之后也就是要注意用手盤動皮帶輪，使得泵腔內余油全部放出。
真空泵在進行拆卸時，就其油也就應該收集好，一般是在機械泵底板之下也就是要注意放一鐵制油盤或者是磁盤等(通稱方盤)收集，以便于今后蒸餾回收和免于污染環境。之后也就是要注意去拆下皮帶，卸下皮帶輪、鍵，脫開底板，視電機好壞程度(如發熱、過臟、有干磨的噪音，振動較大等)應該予以修理或者是送電工洗油修理。
先拆一下真空泵上的低真空端蓋板(后端蓋板，即遠離泵輪的一端)，拆卸的時候應該要注意根據不同螺釘使用不同的工具。對于一般六角螺釘也就是要注意用呆扳手，內六角螺釘也要用內六角扳手，必要的時候也就應該使用套筒扳手，這樣一來也就不會出現損壞螺釘的現象。
擰開端蓋板螺釘之后，輕啟端蓋板。端蓋板若是密合得很緊，這時候也就是要注意慢慢設法起開。舉個例子來講，也就是要注意用銼刀在泵腔和端蓋板合縫地方銼一小槽，之后也就應該用起子(改錐)插于小槽處用手敲起子把手，亦可用小錘輕敲起子以退出端蓋板，切不可重錘敲打。
真空泵全拆修也就會被叫做大修，對于采取了局部拆修措施而沒有能夠排除故障的一些真空泵，就其真空度比較低，仍有滲漏等現象；或者有些真空泵上出現“卡死’現象，油很臟并且就其真空泵當中已經結了垢，生了銹或者是用了不適當的油使機械泵內部零部件上結了硬殼的時候要注意進行清理和拆卸。
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