MF3000M氣體質(zhì)量流量計(jì)MF3000S微型流量傳感器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)采用旁路設(shè)計(jì)并使用本公司專用的MEMS流量傳感器芯片，集成了時(shí)域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場(chǎng)上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨(dú)特的時(shí)域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對(duì)于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實(shí)現(xiàn)氣體識(shí)別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅度提升。時(shí)域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使用度效應(yīng)大幅降低。

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量范圍覆蓋（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,該流量計(jì)工作壓力提高到0.8MPa，MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)提供多種信號(hào)輸出，通過RS485或I2C數(shù)字通訊接口可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置，并可選擇NPN或PNP開關(guān)信號(hào)輸出。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)同時(shí)具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整或者查詢流量計(jì)的參數(shù)。本產(chǎn)品可用于工業(yè)應(yīng)用中的焊接機(jī)器、激光設(shè)備、氣體混合控制等。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

質(zhì)量流量，時(shí)域傳感技術(shù)

全量程覆蓋（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM

全量程高精度和優(yōu)良的重復(fù)性

可測(cè)量多種氣體不需要特別修正

多種輸出信號(hào)可選

支持多種連接方式，易于安裝與使用

工作原理

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于銘鴻儀表公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

該流量的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當(dāng)沒有氣體流過時(shí)，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。MEMS芯片上溫度傳感器將測(cè)量到具體的溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大、調(diào)理和線性化處理后，通過LED顯示或模擬、數(shù)字信號(hào)輸出。由于不同種類的氣體對(duì)微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的溫度變化不同，所以能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。

技術(shù)參數(shù)：

流量范圍：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM

量程比：50：1

精度：±（2.5+0.5FS）%

重復(fù)性：1.0%

零點(diǎn)穩(wěn)定度：±30MV

輸出漂移：±0.12%/℃

響應(yīng)時(shí)間10MS

工作電源：8-24VDC,50MA

信號(hào)輸出1：RS485或I2C

信號(hào)輸出2/3：模擬電流4-20mA/模擬電壓：1-5VDC/NPN/PNP

顯示方式：4位4段LED數(shù)碼管，2個(gè)指示燈

顯示單位：瞬時(shí)流量：SLPM;累積流量：SL或Nm3

顯示分辨率：瞬時(shí)流量：0.01SLPM,累積流量：0.1SL或0.01Nm3

工作壓力：0.8MPa

工作溫度：-10～+55℃

儲(chǔ)存溫度：-20～+65℃

工作濕度：<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）

機(jī)械接口：BSRT1/4外螺紋  4、6、8MM快速接頭  或8mmL型接頭  BSPT1/2內(nèi)螺紋

按鍵：三個(gè)按鍵

校準(zhǔn)方式：空氣（20℃，101.32kPa）

電氣接品：6針插座，廣瀨：DF51K-6P-2DS

符合性：RoHS,REACH

備注：1.為了確保流量計(jì)的測(cè)量精度，使用前需要預(yù)熱一分鐘

2. 傳感器默認(rèn)為空氣校準(zhǔn)，測(cè)量 其它氣體時(shí)，精度會(huì)有所下隆

3. 默認(rèn)響應(yīng)時(shí)間這10MS可通過修改濾波深度調(diào)慢響應(yīng)時(shí)間。

4. 以上參數(shù)在為20℃101.325kPa下測(cè)得。

輸出引線定義：

1、紅色：信號(hào)輸出3：NPN/PNP

2、灰色：信號(hào)輸出2：模擬電流4-20mA/模擬電壓1-5VDC/PNP/NPN

3、藍(lán)色:GND 電源/信號(hào)地（-）

4、棕色：VCC電源正8-24VDC（+）

5、黑色：RS485A(+)I2C時(shí)鐘線（SCL）

6、白色：RS485B(-）I2C數(shù)據(jù)線(SDA）

流量計(jì)的電氣接口為DF51K-6P-2DS（廣瀨），出廠時(shí)帶一型號(hào)為DF51K6-100的配線，長(zhǎng)度 為100CM，一端為插頭DF51K-6S-2C(與DF51K-6P-2DS配套連接)另一端散口。