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產(chǎn)品價格￥38600.00元/臺
產(chǎn)品品牌鄭科探
最小起訂≥1 臺
供貨總量99 臺
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更新日期2024-07-22 16:20
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鄭州市金水區(qū)智研實驗室設(shè)備經(jīng)營部（個體工商戶）
聯(lián) 系 人：張正敏(女士)
聯(lián)系手機：15136405012
聯(lián)系固話：0371--60308298
聯(lián)系地址：河南省大學科技園東區(qū)6幢
品牌： |
鄭科探 |
所在地： |
河南 鄭州市 |
起訂： |
≥1 臺 |
供貨總量： |
99 臺 |
有效期至： |
長期有效 |
5段可變換功率： |
石英+不銹鋼腔體 |
小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD
是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動樣品擋板，靶臺旋轉(zhuǎn)，觸摸屏多段控制，工藝儲存等功能。
正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程：
（1）加熱蒸發(fā)過程：包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程，每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。
（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運輸，即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。
（3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā)，凝聚，成核，核生長，形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠
低于基板溫度遠低于蒸發(fā)源溫度，因此，氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過程。
技術(shù)參數(shù)
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控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
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加熱方式 |
數(shù)字式功率調(diào)整器 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1200W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤12V 電流≤120A |
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真空度 |
機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
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樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
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樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
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樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 |
70-140mm |
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
≤1800℃ |
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支持蒸發(fā)坩堝類型 |
鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
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預(yù)留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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可選配擴展 |
機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa） |
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