作為一種擁有顯著氣態物質處理凈化效果的等離子廢氣處理設備，在電離子磁場的作用下能夠利用電離子的分解作用將廢氣中的有害物質分解，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。
    在等離子設備的工作過程中，氣體的通道上應該是充滿低溫等離子體物質，這樣才能夠讓氣體得到有效處理和分解。等離子體處理系統必須要有一定的放電處理功率。如果在廢氣處理的通道上只有零星的分布，少量的放電點或線，低溫等離子設備則處理的效果是非常有限的。因為，大部分的氣體沒有進過低溫等離子體處理區域。如果放電點或線很少，處理單元就只能承受很小的功率，而且在此情況下，就開始出現拉弧，打火現象。如果出現此現象，處理效率更會急劇下降。
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