一、低溫深度反應：光催化氧化適合在常溫下將廢臭氣體完全氧化成無毒無害的物質，適合處理高濃度、氣量大、穩定性強的氣體的廢氣處理。

二、有效凈化：通過光催化氧化可直接將空氣中的廢臭氣體完全氧化成無毒無害的物質，不留二次污染。

三、綠色能源：光催化氧化利用人工紫外線燈管產生的真空波紫外光的同時可望利用太陽光作為能源來活化催化劑，驅動氧化—還原反應，而且光催化劑在反應過程中并不消耗，利用空氣中的氧作為氧化劑，有效降解臭氣體成為光催化氧化節約能源的大特點。

四、氧化性強：半導體光催化具有氧化性強的特點，對臭氧難以氧化的某些有機物都能有效加以分解，所以對難以降解的有機物具有特別意義，光催化的有效氧化劑是自由基(OH-)和超氧離子自由基(O2-、O-)，其氧化性高于常見的臭氧、雙氧水等。

五、廣譜性：光催化氧化對眾多的有機物都有效，即使對原子有機物也有很好的去除效果，只要經過一定時間的反應便可達到完全凈化。

六、壽命長：理論上，光催化劑的壽命是無限長的，無需更換。